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等離子技術(shù)是利用等離子體獲得高溫?zé)嵩吹囊豁?xiàng)技術(shù)。在化學(xué)工業(yè)中，利用等離子技術(shù)能實(shí)現(xiàn)一系列的反應(yīng)過程。而等離子清洗作為一種材料表面處理的高科技設(shè)備，目前被廣泛應(yīng)用于材料表面清洗、活化、涂層、刻蝕等方面，可以幫助工程師更高效的完成工作內(nèi)容。

 

那么等離子清洗的具體原理是什么呢？功率放大器在此領(lǐng)域是如何應(yīng)用的？

 

密閉的反應(yīng)腔體（真空室、真空腔體）被真空泵不斷抽氣，從1個(gè)標(biāo)準(zhǔn)大氣壓下降到設(shè)定的壓力值并維持真空度；通入氬、氫、氮?dú)獾裙に嚉怏w，啟動(dòng)等離子發(fā)生器，讓反應(yīng)腔體內(nèi)電極之間產(chǎn)生高壓交變電場，使得自由電子能量加速，去激發(fā)工藝氣體分子形成等離子體，具有高反應(yīng)活性或高能量的等離子體，會(huì)與有機(jī)污染物及微顆粒污染物反應(yīng)、碰撞形成各種揮發(fā)性物質(zhì)，這些揮發(fā)性物質(zhì)伴隨工藝氣流由真空泵抽取出去，從而達(dá)到被處理對象表面清潔、活化等目的。

等離子清洗是利用等離子將附著在基板表面的油等有機(jī)物分解、汽化的清洗技術(shù)。除了是一種不使用水或清潔溶液的干燥清潔方法外，它還提供高水平的清潔，不會(huì)留下任何殘留物。

 

等離子清洗還可以通過破壞分子鍵并用羥基修飾來使被處理物體表面親水。在半導(dǎo)體制造過程中，它還用于為圖案化的 PDMS（二甲基聚硅氧烷）表面增加親水性，以提高圖案附著力。

 

等離子清洗的具體優(yōu)勢

等離子清洗技術(shù)具有很多優(yōu)勢，首先它十分環(huán)保，此技術(shù)利用氣固相干式反應(yīng)，無化學(xué)添加，不消耗水資源；其次，它應(yīng)用范圍廣，無論是金屬、半導(dǎo)體、氧化物還是高分子材料都可以進(jìn)行處理；同時(shí)它功能強(qiáng)大，可以在處理材料時(shí)保留其自身特性并賦予新功能；最后的最后它成本低廉且全過程可控，可以幫助企業(yè)更好進(jìn)行清洗加工工作。

針對等離子清洗相關(guān)的驅(qū)動(dòng)問題，Aigtek安泰電子特提供了信號發(fā)生器（ATG-2000系列功率信號源）+高壓放大器（ATA-7025）的測試方案。

 

ATA-7025高壓放大器

 

高壓放大器和信號發(fā)生器都需要具有高性能和高品質(zhì)的輸出波形：一方面是良好的穩(wěn)定性能，輸出波形失真小，并且信號發(fā)生器還需要能產(chǎn)生多種波形信號；另一方面是良好的動(dòng)態(tài)性能，調(diào)幅調(diào)頻方便，負(fù)載適應(yīng)性好，此外有些測試除了需要信號發(fā)生器提供輸出電壓外，還需要功率輸出。

 

ATA-7025高壓放大器是Aigtek公司生產(chǎn)交直流高壓電源產(chǎn)品，電壓可達(dá)5kVp-p（±2.5kVp），，同時(shí)具有過流、過溫保護(hù)功能。適用于驅(qū)動(dòng)高壓型負(fù)載，可放大交、直流信號，輸出電流30mA，電壓增益數(shù)控0~1000倍可調(diào)，結(jié)合液晶面板增益的顯示，能夠快速調(diào)整至需要的電壓值，一鍵保存常用設(shè)置，可與任意品牌信號發(fā)生器配套使用，實(shí)現(xiàn)任意波形信號的完美放大。

 

1/1000Monitor：此端口電壓為輸出端口的1/1000，監(jiān)測口為BNC接頭，可以直接連接到示波器進(jìn)行輸出電壓的實(shí)時(shí)監(jiān)測。

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